半導體行業液氮真空管用于**有效地傳輸液氮，也用于MBE工藝以及半導體組裝和測試設施中集成芯片（IC）的冷測試。半導體行業液氮真空管由動態真空和靜態真空技術組成的兩種系統（動態真空：選擇外部泵-動態系統作為整個管道系統的一部分；靜態真空：靜態安裝，通常我們默認為選擇靜態安裝，而不需要外部泵，而僅依靠我們抽真空和密封的靜態管道的真空質量。
半導體行業液氮真空管的特點
管道夾層采用高真空多層絕熱結構，使氣體對流傳熱可忽略不計；
高真空絕熱材料的有效導熱系數小（較發泡聚氨脂小100倍以上）；
低溫絕熱管道之間采用＂撐插式法蘭連接＂，法蘭處無冒汗結霜，其金屬的導熱大大降低；
高真空低溫管道的漏熱量較相同公稱直徑的堆積絕熱管道漏熱量小10倍以上；
根據用戶需要在低溫絕熱管道上可增設高真空多層絕熱低溫截止閥和止回閥，閥門不冒汗，不結霜．
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半導體行業液氮真空管 |
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管道 規格（mm） |
通徑 |
DN15 |
DN20 |
DN25 |
DN32 |
DN40 |
DN50 |
DN65 |
DN80 |
DN100 |
DN125 |
DN150 |
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內管 |
Φ20*2 |
Φ25*2 |
Φ32*3 |
Φ38*3 |
Φ45*3 |
Φ57*3 |
Φ76 |
Φ89 |
Φ108 |
Φ133 |
Φ159 |
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外管 |
Φ76*2 |
Φ89*2 |
Φ89*2 |
Φ108*2 |
Φ108*2 |
Φ114*3 |
Φ133 |
Φ159 |
Φ168 |
Φ219 |
Φ245 |
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工作壓力 |
根據用戶需要設計 |
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設計溫度 |
-196℃/-270℃ |
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工作介質 |
LO2、LN2 、LAr 、LH2 、LNG |
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內、外管材質 |
06Cr19Ni10、SUS304 (可根據用戶要求選擇內管材質） |
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結構形式 |
高真空多層絕熱 |
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夾層壓力 |
＜0.004Pa |
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管道真空漏率 |
＜2*10-10Pa L/S |
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